• 10 pontos múltiplos
• Vazão de amostra: 0,1 CFM
• Intervalo de amostragem: Min 1 segundo, Max 3600 segundos
• Até 120m2 de cobertura de amostragem de espaço fab/processo
• LEDs indicam porta(s) de amostragem ativa(s)
• Múltiplos (4) modos de amostragem
  » Ensemble: amostra todas as portas simultaneamente
  » Seeker: tem como alvo qualquer porta identificada durante a operação do conjunto
  » Synch: comunica-se com a ferramenta de processo em tempo real para acompanhar o processo fab (caminho do wafer) por meio de ferramentas de processo e mini-ambientes
  ” Usuário definido
• Pegada pequena: 8,2 x 5,4 x 4,7 pol. (21 x 14 x 12 cm)
• O endereço IP e os locais do instrumento permanecem com a estação base, permitindo a troca com o mínimo de tempo de inatividade (< 5 minutos)
• Relé de contato seco (x4)
• Entradas analógicas de 4-20mA (x4) e saídas (x2) para sensores adicionais (ex: temp., RH, DAP)
  porta USB
• Portas Ethernet (2): Protocolo Ethernet e MODBUS sobre TCP/IP

• Fornece 120m2 de cobertura de amostragem de espaço fabril/processo
• Único coletor de partículas de aerossol no mercado projetado e construído especificamente para uso com nanopartículas de amostra (<100 nm).
• Elimina diafonia e outros problemas comuns de manuseio de transporte de nanopartículas
• Capacidade de monitorar vários locais de amostra em uma sequência sequencial ou programada
• Múltiplas interfaces de comunicação de entrada/saída permitem a transferência contínua de dados SCADA, reduzindo o tempo de inatividade da ferramenta de processo
• As portas DC Power (x2) permitem que o ParticleSeeker compartilhe energia com um NanoAir

ParticleSeeker + NanoAir 10 (contador de partículas de aerossol): 

• Monitoramento dentro dos miniambientes do módulo de front-end do equipamento (EFEM) da ferramenta de processo
• Ideal para aplicações que requerem monitoramento de ponto de amostra programado que segue o caminho do wafer ou outra superfície crítica
• Amplo monitoramento de contaminação ao usar várias portas de coletor