Estratégias de monitoramento de partículas em UPW: 300 mm Fabs

Resumo

Falhas de processo causadas por partículas na água ultrapura (UPW) são eventos relativamente pouco frequentes, mas com a mudança para pastilhas de 300 mm e larguras de linha de 90 nm, podem ter um impacto financeiro significativo. No passado, a maioria das estratégias de monitoramento de partículas se concentrava na utilização de contadores de partículas de 0,05 mícron, móveis e em linha, de alta sensibilidade. Este artigo examina as oportunidades de melhoria do desempenho, tendências de dados de rastreamento e redução de custo usando uma combinação de contadores de partículas de alta sensibilidade (até 0,03 mícron) e contadores de menor sensibilidade (0,1 mícron) e mais baratos com volumes de amostra muito altos. O escopo deste artigo fornece detalhes sobre o impacto da sensibilidade de tamanho, volume de amostra e nível de contagem zero no desempenho do contador de partículas. São analisadas considerações práticas de monitoramento e diferenças de distribuição de partículas entre sistemas mal filtrados e altamente filtrados.

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