Contador de Partículas Aerossol NanoAir™ 10
Obtenha informações de qualquer lugar em seu ambiente ultralimpo com este contador de partículas de condensação de 10 nm desenvolvido especificamente para essa finalidade. Aumente o tempo de atividade e melhore o rendimento.
Monitore o interior de ferramentas de processamento de semicondutores com o menor formato do mercado.
Monitoramento ininterrupto e sem necessidade de manutenção por 12 meses com medições contínuas 24 horas por dia, 7 dias por semana.
A melhor taxa de falsos positivos entre todos os contadores de partículas de condensação projetados para monitoramento em ambientes ultralimpos.
Detalhes do produto
Reduza a contaminação e melhore o rendimento onde mais importa com o nosso revolucionário contador de partículas de condensação (CPC) NanoAir™ 10.
Este é o único sistema de manifold projetado para suportar o transporte e a distribuição de nanopartículas.
Um produto complementar de manifold de 10 portas (ParticleSeeker™) suporta aplicações que exigem o monitoramento de múltiplas localizações de amostra em sequências programadas ou sequenciais.
O sistema de manifold de 10 portas permite a cobertura de todo um EFEM/Minienvironment com um único CPC. Obtenha uma cobertura de 120 pés quadrados com o sistema de manifold.
Tempo de porta a porta de apenas 0,1 segundo, com interferência minimizada. O manifold suporta vários modos de operação para:
- qualificação de ferramentas
- rastreamento/rastreamento de processo
- resposta automatizada a eventos integrados da fábrica
- rastreamento de wafers dentro de ferramentas de processo
Visualize, analise e gere relatórios de dados rapidamente com nosso software de monitoramento de partículas FacilityNet ou por meio de transmissão direta para sistemas SCADA de terceiros ou ferramentas de processo via protocolo Ethernet MODBUS. A amostragem de dados com precisão de até 0,1 segundo permite controle preciso e insights de processo acionáveis.
Os dados e o instrumento podem ser acessados remotamente.
A combinação do NanoAir10 com o HPD-III permite a análise de gases inertes de alta pressão com tamanho de partícula de até 10 nm, garantindo um controle superior da contaminação por partículas em gases que entram em ambientes críticos.
O NanoAir 10 não possui esquemas de subtração de contagem zero. Cada partícula é detectada e contada, garantindo desempenho incomparável em ambientes ultralimpos.
O instrumento possui a melhor taxa de falsos positivos de qualquer CPC (contador de partículas contínuo) do mercado (≤1,5#/m³).
Acessórios
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